MS-220 高度な統合型XYテーブル の実機レビュー｜1μm精度のXYZ電動ステージで目視検査を無人化する方法

「毎日の目視検査で目が疲れる」「手動での位置合わせに時間がかかり、検査漏れが怖い」。そんな現場の課題を抱えていませんか？

MS-220 高度な統合型XYテーブル とは？

MS-220は、マイクロスコープと組み合わせて使用する統合型XY電動ステージです。PC不要でマウスから直接XY軸を操作でき、設定した座標への自動移動やスキャン検査を低コストで実現します。

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MS-220（型番：MS220-S-2513）は、従来の「手で動かして目で見る」検査プロセスを自動化するために設計されました。

• PCソフトに依存しない独立駆動 ステージ本体に制御システムが内蔵されており、マウスを接続するだけで直感的に操作可能です。
• 高精度な位置決め 分解能1μm、繰り返し位置決め精度±5μmという、研究開発や品質管理（QC）に十分なスペックを誇ります。
• 既存環境への導入が容易 幅320mmのコンパクト設計で、現在お使いの作業デスクにそのまま設置できます。

主なスペック・仕様一覧

可動範囲はX軸250mm・Y軸130mm、最大積載荷重は1kgです。位置決め精度は±5μmと非常に高く、半導体や電子部品の微細検査に対応します。

項目	仕様・数値	備考
製品名	MS220-S-2513	統合型XYZ電動ステージ
可動範囲（X, Y）	250mm x 130mm	広範囲の検査に対応
位置決め精度	± 5 µm	X/Y軸共通
分解能	1 µm	微細な位置調整が可能
プラットフォーム寸法	320mm x 190mm
耐荷重	1 kg
対応ポール径	Φ 25 mm	マイクロスコープ固定用
本体重量	11 kg	振動に強い重量設計
電源	12V / 5A

導入のメリットと自動化機能

最大のメリットは「検査の自動巡回」です。登録した座標へ自動で移動するため、繰り返しの抜き取り検査やAI解析用の画像収集を無人化・効率化できます。

導入時の注意点（デメリット）

耐荷重が1kgである点と、完全な自動撮影機能を利用するにはUM30/UM20のマイクロスコープが必要になる点に注意が必要です。

重量制限: 積載可能重量は1kgまでです。極端に重い金属部品や治具を載せる場合は、スペックオーバーにならないよう事前の重量確認が必須です。

互換性: ステージ単体としての動作は独立していますが、オートフォーカス連動や自動撮影フローを組む場合は、UM30/UM20マイクロスコープとのセット運用が前提設計となっています。

よくある質問（FAQ）

パソコンがなくても使用できますか？

はい、使用可能です。MS-220はマウスを本体に直接接続して操作します。座標の登録や移動指示も、モニター上に表示されるメニューからマウスのみで行えます。

どのくらいの精度で移動できますか？

分解能（最小移動単位）は1μm、位置決め精度は±5μmです。一般的な目視検査や画像解析には十分な高精度を確保しています。

独自の治具を取り付けることは可能ですか？

プラットフォーム（天板）は320mm x 190mmのフラットな形状です。耐荷重1kg以内であれば、対象物を固定するための特注治具やマットなどを設置して運用できます。